Inline Magnetron Sputtering სისტემა
მაგნეტრონის შიგთავსის საფარის მანქანა ძირითადად არის DC (ან MF) მაგნიტრონის დაფრქვევის საფარი შეიძლება ადაპტირებული იყოს სამიზნეების ფართო სპექტრზე, როგორიცაა: სპილენძი, ტიტანი, ქრომი, უჟანგავი ფოლადი, ნიკელი და სხვა ლითონის მასალები, რომლებიც შეიძლება დაფაროს დაფქვის პროცესის გამოყენებით. შეუძლია გააუმჯობესოს ფილმის გადაბმა, რეპროდუქციულობა, სიმკვრივე, ერთგვაროვნება და სხვა მახასიათებლები.
- ა.ძირითადი მახასიათებლები და პარამეტრები
- ბ.ჰორიზონტალური ხაზის სტრუქტურა შეიძლება განხორციელდეს ერთდროულად დაფარული ერთ მხარეს
- გ.წარმოების ეფექტურობა, ყველაზე სწრაფი სიჩქარე 1 წთ/დარტყმამდე
- დ.მოდულური დიზაინი, მარტივი მოვლა
- ე.დაფარვის პროცესის სიმწიფე, მაღალი მოსავლიანობა
- ვ.მუდმივი მაგნიტრონის დაფრქვევის კათოდები შეიძლება განსხვავდებოდეს მომხმარებლის მოთხოვნების მიხედვით
- გ.ვაკუუმური სისტემა შედგება მექანიკური ტუმბოსგან, Roots ტუმბოებისგან, დიფუზიური ტუმბოებისგან (მოლეკულური ტუმბო) შემადგენლობა
- თ.ხაზის სხეულის ზომა შეიძლება განსხვავდებოდეს მომხმარებლის მოთხოვნების მიხედვით
- 1) ვაკუუმური კამერის სხეულის მასალები გამოიყენება SUS304, ვაკუუმური კამერის კედლის დამუშავება, გარე კედლის სპრეი გასაპრიალებელი მძივების დამუშავება.
- 2) ვაკუუმურ კამერას შორის დამოუკიდებელი კარიბჭის სარქველის გამოყენებით - ფლაპერული სარქველი განცალკევებით, შეუძლია ეფექტურად შეწყვიტოს, დაასტაბილუროს პროცესის გაზი.ამჟამად ჩვენი კომპანია იღებს სარქვლის სარქვლის დიზაინს, ის უკეთესად, უფრო გამძლეა, ვიდრე ამჟამინდელი შიდა საერთო სარქველი.
- 3) ტრანსმისია იყენებს მაგნიტურ სახელმძღვანელოს, იცავს დისკის სტაბილურობას.მთელი საწარმოო ხაზის თითოეული სიჩქარისთვის VVVF ძრავის ძრავის გამოყენებით, სიჩქარის რეგულირება შესაძლებელია.
- 4) ელექტრული კონტროლის სისტემა: სენსორული ეკრანი და PLC ავტომატური კონტროლი, ადამიანი-მანქანის დიალოგი მონაცემთა ჩვენების სისტემის მისაღწევად, ოპერაციული პარამეტრები და კონტროლის ტექნოლოგია
- 1) საბოლოო ვაკუუმის წნევა: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) საშუალო წარმოების ციკლი: განსაზღვრული პროდუქტის მიხედვით
- 3) სუბსტრატის დამჭერის ზომა: შეიძლება მორგებული იყოს მოთხოვნების შესაბამისად
- 4) ფირის ერთგვაროვნება: ± 3% მოწინავე მობილური საველე ტექნოლოგია მნიშვნელოვნად გაზრდის მიზნების გამოყენებას
- სეგმენტირებული გამათბობლის დიზაინი ხელს უწყობს პროცესის ოპტიმიზაციას.
დაწერეთ თქვენი მესიჯი აქ და გამოგვიგზავნეთ
