ალუმინის სარკის Inline Magnetron Sputtering ხაზი
Ძირითადი მახასიათებლები
- ალუმინის სარკის Inline Magnetron Sputtering Line ჩვეულებრივ მოყვება მრავალი ვაკუუმის კამერა მინის ფურცლებზე ვაკუუმური საფარის დასასრულებლად.
- Ძირითადი მახასიათებლები:
- 1.მაქს.მინის საფარის ზომა:2440x3660მმ ან მორგებული
- 2. ხელმისაწვდომია მულტივაკუუმური კამერები და მრავალსაფრქვევი კამერის დიზაინი
- 3. ჰორიზონტალურ მაგნიტურ საკონტროლო ხაზს აქვს ერთბოლო და ორდაბოლოიანი სტრუქტურა;შუშის ორმაგი გაწმენდა, საფარი, გამოვლენა, შეღებვა, გაშრობა, გაგრილება შეიძლება დასრულდეს ერთდროულად
- 4. დაფქვის საფარის ხაზი იყენებს PLC-ს მთელი პროცესის კონტროლისთვის და აღჭურვილია ფერადი ეკრანით, რათა აჩვენოს საფარის პროცესის მონაცემები
საფარის ფენა: ტიტანი, ქრომი, უჟანგავი ფოლადი, ალუმინი, ვერცხლი, სპილენძი და ა.შ.
- ნაერთი: TiN, TiO2 და ა.შ.
- ფენის სისქე: 5-100 ნმ
- გადაცემა: 8-40% 380-780 ნმ ტალღის სიგრძეზე
- დეპონირების ტემპერატურა: ოთახის ტემპერატურა
- საბოლოო წნევა 8 სთ-იანი ტუმბოს ჩამორთმევის შემდეგ:
- შესასვლელი საკეტი და ვაკუუმური საკეტი კამერა: 5×10-1 Pa ან ქვემოთ
- ბუფერული პალატა 1: 3×10-3 Pa ან ქვემოთ
- თხრილის კამერა: 2×10-3 Pa ან ქვემოთ
- ბუფერული პალატა 2: 3×10-3 Pa ან ქვემოთ
- გასასვლელი საკეტის კამერა და ვაკუუმური საკეტის კამერა: 5×10-1 Pa ან ქვემოთ
დაწერეთ თქვენი მესიჯი აქ და გამოგვიგზავნეთ
