მაგეტრონის გამჭოლი მანქანა
-
მტვერსასრუტი თხელი ფირის მაგნიტრონის დაფარვის მანქანა
ვაკუუმ-მაგნეტრონული დაფრქვევის ტექნიკა არის ქალის, ბიპოლარული ელექტროდის ზედაპირის გამოყენება ელექტრონის მაგნიტური ველით კათოდის ზედაპირის დრიფტში, სამიზნე ზედაპირის ელექტრული ველის დაყენებით მაგნიტურ ველზე პერპენდიკულარულად, ელექტრონი ზრდის ინსულტს, ზრდის იონიზაციის სიჩქარეს. გაზის, ხოლო მაღალენერგეტიკული ნაწილაკები აირებენ და კარგავენ ენერგიას შეჯახების შემდეგ და ა.შ. ქვედა სუბსტრატის ტემპერატურა, სრული საფარი არატემპერატურულ მასალაზე.
-
ვაკუუმური დეპონირების მაგნიტრონის დაფრქვევის სისტემა
ვაკუუმური დეპონირების მაგნიტრონის დაფრქვევის სისტემა არის ერთგვარი ვაკუუმური მოწყობილობა, რომელიც შეიძლება გამოყენებულ იქნას თხელი ფირის საფარის ფენების სხვადასხვა ნედლეულზე მეტალის ან ფუნქციური საფარით.
-
პლასტმასის ერთჯერადი დანაჩანგალისთვის მაგნიტრონის დაფარვის მანქანა
მაგნიტრონის დაშლა ამჟამად ფართოდ გამოიყენება თხელი ფირის დეპონირების ტექნოლოგია.თხრილის ტექნოლოგიის უწყვეტი განვითარებით და ახალი ფუნქციური ფილმების გამოკვლევით, მაგნიტრონის თხრილის გამოყენება გაფართოვდა წარმოებისა და სამეცნიერო კვლევის მრავალ სფეროში.როგორც მიკროელექტრონიკის სფეროში არათერმული საფარის ტექნოლოგია, იგი ძირითადად გამოიყენება ქიმიურ ორთქლის დეპონირებაში (CVD) ან ლითონის ორგანული ქიმიური ორთქლის დეპონირებაში (MOCVD) მასალების თხელი ფენების დასაფენად, რომლებიც ძნელად მოსავლელი და უვარგისია და შეიძლება მიიღოთ. ძალიან ერთგვაროვანი თხელი ფილმები დიდ ადგილებში.
