ჰიბრიდული PVD მანქანა მყარი საფარისთვის
ძირითადი საფარები
| საფარი | სიხისტე hv | ხახუნის კოეფიციენტი | კოროზიის წინააღმდეგობა | აცვიათ წინააღმდეგობა | მომსახურების მაქსიმალური ტემპერატურა C | ფერი |
| TiN (ტიტანის ნიტრიდი) | 2200 | 0.5 | კარგი | შესანიშნავი | 525 | ოქრო |
| TiN-LT (დაბალი ტემპერატურის ტიტანის ნიტრიდი) | 2200 | 0.5 | კარგი | შესანიშნავი | 525 | ოქრო |
| TiCN (ტიტანის კარბონიტრიდი) | 3000 | 0.4 | სამართლიანი | შესანიშნავი | 400 | იისფერი |
| AlTiN (ალუმინის ტიტანის ნიტრიდი) | 3600 | 0.6 | კარგი | შესანიშნავი | 750 | შავი |
| CrN (ქრომის ნიტრიდი) | 2400 | 0.5 | შესანიშნავი | კარგი | 700 | Ვერცხლისფერი ნაცრისფერი |
| ZrN (ცირკონიუმის ნიტრიდი) | 2500 | 0.5 | კარგი | შესანიშნავი | 600 | ღია ოქრო |
Ძირითადი მახასიათებლები
1. PVD საფარის კამერა არის წინა კარის ყუთის ტიპის სტრუქტურა, რომელიც დამზადებულია უჟანგავი ქურდისგან.
2. დაფარვის კამერის და სამუშაო ნაწილების ღერძის ზომის სპეციფიკაცია აკმაყოფილებს საფარის საჭიროების ზოგად მოთხოვნებს
3. Arc წყარო არის მოწინავე და საიმედო
4. ხელმისაწვდომია ცილინდრული ან პლანშეტური მაგნიტრონის გამფრქვევი
5. შესაძლებელია PLC-ის ავტომატური ან ხელით კონტროლი
განაცხადი
PVD საფარის მანქანის გასაშვებად დაგჭირდებათ:
გამაგრილებელი წყალი: ტემპერატურის დიაპაზონი 15-28 ცელსიუსი, გამაგრილებელი მოცულობა: 5p-15p
კომპრესორი: ავზის მოცულობა: 0,5-2/კუბ
ელექტროენერგია: არანაკლებ 80 ~ 150 კვა, PVD აპარატის მოცულობის მიხედვით.
ლითონის ნაწილებში წინასწარი დამუშავებისთვის:
1. ულტრაბგერითი სარეცხი მანქანა
2. სუფთა წყლის მანქანა ან/თუ წყალი სუფთაა 1-2 ტონა/სთ
3. სუბსტრატების (პროდუქტების) ზედაპირი უნდა იყოს სუფთა, მშრალი
4. ოპერატორი: როგორც აღინიშნა სიმძლავრე: 1 - 2 ოპერატორი
პროცესისთვის:
1. ნედლეული: სამიზნე მასალები
2. აირები: A2, N2, O2, C2H2 და ა.შ
3. ყველა გაზის ავზს სჭირდება წნევის შემცირების სარქველები და გაზსადენები, კონექტორები
4. ტუმბოს ზეთი და სხვა პროდუქტები და სხვა ნაწილები სათადარიგო ნაწილების სიაში
